ES4502 半導(dǎo)體工藝與器件仿真教學(xué)與實(shí)驗(yàn)軟件

所屬分類：集成電路

半導(dǎo)體工藝與器件仿真教學(xué)與實(shí)驗(yàn)軟件包含業(yè)界主流微電子工藝及器件仿真TCAD軟件的教程和配套資源。

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產(chǎn)品詳情

1.產(chǎn)品簡(jiǎn)介

半導(dǎo)體工藝與器件仿真教學(xué)與實(shí)驗(yàn)軟件包含業(yè)界主流微電子工藝及器件仿真TCAD軟件的教程和配套資源。通過工藝仿真得到確定工藝下材料水平的器件結(jié)構(gòu)，然后在工藝仿真得到的器件模型基礎(chǔ)上仿真計(jì)算電學(xué)特性，使學(xué)生更加深入地理解半導(dǎo)體工藝和器件原理，熟練掌握Silvaco TCAD軟件的使用方法及半導(dǎo)體物理參數(shù)、工藝參數(shù)及器件模型對(duì)于器件電學(xué)特性的影響。

實(shí)驗(yàn)案例包括硅和鍺的導(dǎo)帶和價(jià)帶結(jié)構(gòu)分析等半導(dǎo)體物理實(shí)驗(yàn)，離子注入、擴(kuò)散、淀積、光刻等典型工藝仿真及金屬硅化物、三極管、場(chǎng)效應(yīng)管等典型器件仿真及工藝器件聯(lián)合仿真，以支持《半導(dǎo)體物理與器件》、《微電子工藝技術(shù)》等課程的課程實(shí)驗(yàn)與課程設(shè)計(jì)。

配套的實(shí)驗(yàn)管理軟件將各個(gè)實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目的實(shí)驗(yàn)資源、實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)、實(shí)驗(yàn)過程進(jìn)行全流程管理，實(shí)現(xiàn)學(xué)生實(shí)驗(yàn)前通過線上資源預(yù)習(xí)實(shí)驗(yàn)內(nèi)容、實(shí)驗(yàn)中填寫實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)、實(shí)驗(yàn)后一鍵生成實(shí)驗(yàn)報(bào)告；教師線上布置實(shí)驗(yàn)內(nèi)容、下載實(shí)驗(yàn)報(bào)告、實(shí)驗(yàn)報(bào)告查重、批閱實(shí)驗(yàn)報(bào)告、對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析等功能。

2.產(chǎn)品特點(diǎn)

3.產(chǎn)品功能

通過本軟件的學(xué)習(xí)和訓(xùn)練，學(xué)生可以更加深入地理解半導(dǎo)體工藝和器件原理，熟練掌握TCAD仿真軟件的使用方法。

主要實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目包括：

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